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真空压力控制方法在X射线探测器窗口薄膜材料力学性能测试中的应用
摘要:针对X射线窗口膜材料机械性能测试中对真空度和高压压力的准确控制需要,本文提出了相应的解决方案。解决方案中采用了薄膜电容真空计...
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